-
Karakteristike magnetronskega ionizacijskega merilnika s hladno katodo v visokovakuumskem (VV) in ultra visokovakuumskem (UVV) področju = Characteristics of a magnetron cold-cathode ionization gauge in the high- vacuum (HV) and ultra high- vacuum (UHV) rangesErjavec, Bojan, 1950-2023 ; Šetina, Janez ; Irmančnik-Belič, LidijaModel merilne glave z navadno magnetronsko geometrijo je bil konstruiran na osnovi standardne miniaturne ionsko-razprševalne črpalke z dodatnimi spremembami, kot so: bakreni katodni plošči, katodna ... palica iz nerjavnega jekla, električno izolirano ohišje, visokonapetostna prevodnica z veliko električno prebojno trdnostjo in oklopljen magnet iz zlitine Sm-Co. Zadnje tri spremembe so omogočile natančne meritve razelektritvenih tokov od 0,1 nA do ▫$\mu$▫A. Karakteristike magnetonske celice so bile izmerjene z referenčnim ekstraktorskim merilnikom na UVV kalibracijskem sistemu za primerjavo merilnikov. Za preskusne pline smo izbrali dušik, vodik, argon in helij. Najprej smo izmerili jakost razelektritve v odvisnosti od anodne napetosti znotraj področja 10 kV pri različnih tlakih, izbranih v območju od 1x10$^-9$ do 1x10$^-6$ mbar. Potek jakosti razelektritve je približno enak za vse preskusne pline. Maksimum jakosti razelektritve, ki je izmerjen pri višjem tlaku, je pomaknjen k višji anodni napetosti. Nato smo izmerili razelektritveni tok v odvisnosti od tlaka dušika v UVV in VV področju pri različnih delovnih napetostih, izbranih v območju od 2,5 do 4,5 kV. Optimalna karakteristika razelektritvenega toka v odvisnosti od tlaka je bila izmerjena pri delovni napetosti 3,5 kV in se lahko aproksimira s potenčno funkcijo z eksponentom n = 1,28. V VV področju je bila pri različnih delovnih napetostih ugotovljena tudi črpalna hitrost magnetonske celice z merjenjem ravnotežnega tlaka dušika, kjer smo uporabili viskoznostni merilnik z lebdečo kroglico, in ravnotežnega pretoka dušika z metodo hitrosti naraščanja tlaka. Pri tlaku dušika 1x10$^-6$ mbar in delovni napetosti 3,5 kV je občutljivost magnetonske celice 9,3 A/mbar in ustrezna črpalna hitrost 0,6 l/s.Source: Materiali in tehnologije = Materials and technology. - ISSN 1580-2949 (Letn. 35, št. 5, 2001, str. 251-257)Type of material - article, component part ; adult, seriousPublish date - 2001Language - slovenianCOBISS.SI-ID - 285023
Author
Erjavec, Bojan, 1950-2023 |
Šetina, Janez |
Irmančnik-Belič, Lidija
Topics
jeklo |
magnetronska celica |
jakost razelektritve |
potencialna porazdelitev |
radialna električna poljska jakost |
prečno polje |
nelinearnost |
nezveznosti |
nezveznosti |
magnetron cell |
discharge intensity |
potential distribution |
radial electric-field strength |
crossed-field |
non-linearity |
discontinuities
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
source: Materiali in tehnologije = Materials and technology. - ISSN 1580-2949 (Letn. 35, št. 5, 2001, str. 251-257)
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
Shelf entry
Permalink
- URL:
Impact factor
Access to the JCR database is permitted only to users from Slovenia. Your current IP address is not on the list of IP addresses with access permission, and authentication with the relevant AAI accout is required.
Year | Impact factor | Edition | Category | Classification | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP |
Select the library membership card:
DRS, in which the journal is indexed
Database name | Field | Year |
---|
Links to authors' personal bibliographies | Links to information on researchers in the SICRIS system |
---|---|
Erjavec, Bojan, 1950-2023 | 05673 |
Šetina, Janez | 04254 |
Irmančnik-Belič, Lidija | 09846 |
Select pickup location:
Material pickup by post
Notification
Subject headings in COBISS General List of Subject Headings
Select pickup location
Pickup location | Material status | Reservation |
---|
Please wait a moment.