Akademska digitalna zbirka SLovenije - logo
VSE knjižnice (vzajemna bibliografsko-kataložna baza podatkov COBIB.SI)
  • Raziskave karakteristik magnetronske razelektritve v ultravisokem vakuumu : doktorska disertacija
    Vesel, Alenka
    Delo, ki je bilo opravljeno v okviru te disertacije, je nastalo z namenom, da bi prispevala svoj delež k razumevanju značilnosti razelektritve v magnetronskih celicah. Magnetronsko celico so do sedaj ... uporabljali predvsem kot merilnik tlaka, pri čemer se je pokazala možnost, da bi jo lahko zaradi njenih dobrih lastnosti, kot je velika jakost razelektritve in zelo nizek dosežen tlak, uporabili tudi kot sestavni del ionsko-razprševalnih črpalk. Velika jakost razelektritve vpliva na boljše črpalne lastnosti celice. Ioni, ki nastajajo v razelektritvi, trkajo v titanovo katodo in razpršujejo iz nje atome titana, ki kemijsko reagirajo z molekulami plina. Tako poteka črpanje v celici. Čim močnejši je razelektritveni tok, tem večje je razprševanje in s tem boljše črpanje. Ker je razelektritveni tok odvisen od več parametrov, kot so magnetno polje, napetost in geometrija celice, sem se odločila za podrobnejše raziskave z namenom, da bi ugotovila, kakšni so optimalni pogoji za delovanje celice. V ta namen sem raziskovala odvisnost razelektritvenega toka od napetosti, magnetnega polja in tlaka. Predvidevala sem, da obstaja neko optimalno področje napetosti in magnetnega polja, pri katerem bo jakost razelektritve maksimalna. Rezultati so potrdili to tezo. Izkazalo se je, da razelektritveni tok pri neki napetosti doseže maksimum. Napetost, pri kateri se to zgodi, pa je odvisna od magnetnega polja. Višje magnetno polje zahteva višjo napetost. Raziskovala sem tudi vpliv dolžine celice in oblike osrednje titanove katode na razelektritveni tok. Izdelane so bile celice z dolžino 13, 20, 25, 35 in 50 mm. Pričakovala sem, da bo razelektritveni tok v daljših celicah večji. Rezultati so pokazali nasprotno. Tok je bil največji v celici z dolžino 20 mm, pri daljših celicah pa je padel zaradi nastanka plazme, ki neugodno vpliva na črpalne lastnosti celice. Oblika katode vpliva na vpadni kot ionov in s tem na količino razpršenega materiala ter na koeficient sekundarne emisije elektronov, ki pomagajo pri vzdrževanju razelektritve. Celice, ki so imele katodo poligonalne oblike, so tako kazale večji razelektritveni tok in boljšo črpalno hitrost. Z metodo AES sem raziskovala površino anode z namenom, da bi ugotovila, ali je na anodi nastala plast titanovih depozitov kot posledica črpanja celice. Rezultati AES analiz so pokazali, da je na anodi nastala plast titanovega nitrida. Debelina nastale plasti se je ujemala s teoretično oceno, ki sem jo dobila z meritvijo izmerjenega ionskega toka. To dokazuje, da je med ionskim tokom in črpalno hitrostjo neposredna povezava. Poleg tega so AES-analize pokazale, da v magnetronski celici poteka razprševanje po njeni celotni površini, zato je le-ta dokaj čista, kar ugodno vpliva na črpanje vodika, saj lahko vodik zelo hitro difundira v njeno notranjost. Črpalka, sestavljena iz takih celic, bi zatorej imela boljše črpalne lastnosti od navadnih Penningovih celic. Raziskave karakteristik magnetronskih celic so tako potrdile hipotezo o možnosti njihove uporabe v ionsko-razprševalnih črpalkah. Kot so pokazali rezultati za eno celico, velja tudi za več celic, da je optimalna delovna napetost črpalke odvisna od izbire magnetnega polja. Napetost bi morala biti pravilno izbrana, saj bi drugače bila razelektritev prešibka. Optimalna dolžina celic je 20 mm, celice pa bi morale vsebovati katodo npr. zvezdaste oblike.
    Vrsta gradiva - disertacija ; neleposlovje za odrasle
    Založništvo in izdelava - Maribor : [A. Vesel], 2003
    Jezik - slovenski
    COBISS.SI-ID - 126941184

Knjižnica/institucija Kraj Akronim Za izposojo Druga zaloga
Centralna tehniška knjižnica Univerze v Ljubljani Ljubljana CTK na dom 1 izv.
Knjižnica tehniških fakultet, Maribor Maribor KTFMB v čitalnico 1 izv.
Narodna in univerzitetna knjižnica, Ljubljana Ljubljana NUK v čitalnico 1 izv.
Univerzitetna knjižnica Maribor Maribor UKM v čitalnico 1 izv.
loading ...
loading ...
loading ...

Vnos na polico