Akademska digitalna zbirka SLovenije - logo
VSE knjižnice (vzajemna bibliografsko-kataložna baza podatkov COBIB.SI)
  • Time dependent evolution of thin TiN films prepared by ion beam assisted deposition
    Kovač, Janez, 1965- ...
    Tanke plasti titanijevega nitrida (TiN) so bile pripravljene s sočasnim naparevanjem Ti in implantacijo ▫$N_2^+$▫ pri 30 keV na podlagi Si(100) v atmosferi ▫$N_2$▫. Preiskali smo kemično sestavo ... plasti s spektroskopijo Augerjevih elektronov in rentgensko fotoelektronsko spektroskopijo. Preverili smo stopnjo homogenosti in kontaminacije ter nastale titanijeve spojine v plasti in njihov globinski profil. Izmerili smo Rayleighjevo hitrost pri različnih vpadnih kotih z metodo Brillouinovega sipanja. V plasti smo potrdili načina Sezawa. Ugotovili smo, da je plast kazala tudi posledice staranja. Na mezoskopski skali je imela plast porozen značaj.
    Vir: Journal of applied physics. - ISSN 0021-8979 (Vol. 86, no. 10, 1999, str. 5566-5572)
    Vrsta gradiva - članek, sestavni del
    Leto - 1999
    Jezik - angleški
    COBISS.SI-ID - 52194

vir: Journal of applied physics. - ISSN 0021-8979 (Vol. 86, no. 10, 1999, str. 5566-5572)
loading ...
loading ...
loading ...