-
Time dependent evolution of thin TiN films prepared by ion beam assisted depositionKovač, Janez, 1965- ...Tanke plasti titanijevega nitrida (TiN) so bile pripravljene s sočasnim naparevanjem Ti in implantacijo ▫$N_2^+$▫ pri 30 keV na podlagi Si(100) v atmosferi ▫$N_2$▫. Preiskali smo kemično sestavo ... plasti s spektroskopijo Augerjevih elektronov in rentgensko fotoelektronsko spektroskopijo. Preverili smo stopnjo homogenosti in kontaminacije ter nastale titanijeve spojine v plasti in njihov globinski profil. Izmerili smo Rayleighjevo hitrost pri različnih vpadnih kotih z metodo Brillouinovega sipanja. V plasti smo potrdili načina Sezawa. Ugotovili smo, da je plast kazala tudi posledice staranja. Na mezoskopski skali je imela plast porozen značaj.Vir: Journal of applied physics. - ISSN 0021-8979 (Vol. 86, no. 10, 1999, str. 5566-5572)Vrsta gradiva - članek, sestavni delLeto - 1999Jezik - angleškiCOBISS.SI-ID - 52194
Avtor
Kovač, Janez, 1965- |
Scarel, Giovanna |
Sancrotti, Massimo |
Beghi, M.G. |
Bottani, C.E. |
Ossi, P.M. |
Calliari, L. |
Bonelli, M. |
Miotello, A.
Teme
rentgenska fotoelektronska spektroskopija |
tanke plasti |
titanijev nitrid |
staranje |
IBAD |
globinski profil |
X-ray photoemission spectroscopy |
titanium nitride |
thin films |
aging |
IBAD |
depth profiling
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
Vnos na polico
Trajna povezava
- URL:
Faktor vpliva
Dostop do baze podatkov JCR je dovoljen samo uporabnikom iz Slovenije. Vaš trenutni IP-naslov ni na seznamu dovoljenih za dostop, zato je potrebna avtentikacija z ustreznim računom AAI.
Leto | Faktor vpliva | Izdaja | Kategorija | Razvrstitev | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP |
Baze podatkov, v katerih je revija indeksirana
Ime baze podatkov | Področje | Leto |
---|
Povezave do osebnih bibliografij avtorjev | Povezave do podatkov o raziskovalcih v sistemu SICRIS |
---|---|
Kovač, Janez, 1965- | 15703 |
Izberite prevzemno mesto:
Prevzem gradiva po pošti
Obvestilo
Gesla v Splošnem geslovniku COBISS
Izbira mesta prevzema
Mesto prevzema | Status gradiva | Rezervacija |
---|
Prosimo, počakajte trenutek.