-
Raziskave tvorbe epitaksijskih plasti silicija na silicijevi podlagi. Faza 2, Postavitev reaktorja in priprave za osvajanje tehnologije : strokovno poročiloKansky, Evgen, 1926-1987 ...Izdelava epitaksijskega reaktorja in osvojitev postopka epitaksije na silicijVrsta gradiva - raziskovalno poročilo ; neleposlovje za odrasleZaložništvo in izdelava - Ljubljana : Inštitut za elektroniko in vakuumsko tehniko, 1968Jezik - slovenskiCOBISS.SI-ID - 9068288
Avtor
Kansky, Evgen, 1926-1987 |
Jerič, Smiljan, 1922-2004 |
Simonič, Marija, fizičarka |
Jarec, Miran, metalurg
Teme
elektrotehnika |
integrirana vezja |
izdelava vezij |
epitaksija |
epitaksijske plasti |
silicij |
epitaksijski reaktor |
pomožne naprave |
čiščenje vodika |
epitaksijski substrati |
zaščita |
meritve |
merjenje upornosti |
merjenje prevodnosti |
kristalografske lastnosti |
merjenje debeline
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
Rezervirajte gradivo na želenem mestu prevzema.
Mesto prevzema |
Status gradiva | Rezervacija |
---|---|---|
Centralna tehniška knjižnica Univerze v Ljubljani |
prosto - na dom, čas izposoje: 14 dni
|
Signatura – lokacija, inventarna št. ... |
Status izvoda |
---|---|
0000054677/VII-32/2 Skladišče IN: 397000398 54677/VII-32/2 Skladišče IN: 397000398 |
prosto - na dom, čas izposoje: 14 dni
|
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
Vnos na polico
Trajna povezava
- URL:
Faktor vpliva
Dostop do baze podatkov JCR je dovoljen samo uporabnikom iz Slovenije. Vaš trenutni IP-naslov ni na seznamu dovoljenih za dostop, zato je potrebna avtentikacija z ustreznim računom AAI.
Leto | Faktor vpliva | Izdaja | Kategorija | Razvrstitev | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP |
Baze podatkov, v katerih je revija indeksirana
Ime baze podatkov | Področje | Leto |
---|
Povezave do osebnih bibliografij avtorjev | Povezave do podatkov o raziskovalcih v sistemu SICRIS |
---|---|
Kansky, Evgen, 1926-1987 | 00049 |
Jerič, Smiljan, 1922-2004 | 00038 |
Simonič, Marija, fizičarka | ![]() |
Jarec, Miran, metalurg | ![]() |
Izberite prevzemno mesto:
Prevzem gradiva po pošti
Obvestilo
Gesla v Splošnem geslovniku COBISS
Izbira mesta prevzema
Mesto prevzema | Status gradiva | Rezervacija |
---|
Prosimo, počakajte trenutek.