Akademska digitalna zbirka SLovenije - logo
Fakulteta za elektrotehniko, Ljubljana (FERLJ)
  • The influence of target composition and thermal treatment on sputtered Al thin films on Si and SiO2 substrates
    Resnik, Drago ...
    Vir: Microelectronic engineering. - ISSN 0167-9317 (Vol. 96, Aug. 2012, str. 29-35)
    Vrsta gradiva - članek, sestavni del ; neleposlovje za odrasle
    Leto - 2012
    Jezik - angleški
    COBISS.SI-ID - 9074772

vir: Microelectronic engineering. - ISSN 0167-9317 (Vol. 96, Aug. 2012, str. 29-35)

loading ...
loading ...
loading ...