Akademska digitalna zbirka SLovenije - logo
Fakulteta za strojništvo, Ljubljana (FSLJ)
  • Grelna plošča s temperaturno regulacijo za mreženje fotorezista : zaključna naloga univerzitetnega študijskega programa I. stopnje Strojništvo
    Dobelšek, Simon
    Delo opisuje konceptualizacijo, izdelavo in okarakterizirajo večnamenske laboratorijske naprave, katere primarna funkcija je točna temperaturna regulacija vroče plošče. Takšne plošče se lahko ... uporabljajo za mreženje fotorezista, ki ima vlogo pri litografskih postopkih. Kot dodatno funkcionalnost naprava vključuje možnost stiskanja vzorca med ravnima ploščama in delovanje v vakuumu, kar omogoča uporabo naprave tudi za vroče vtiskovanje (oz. hot embossing).
    Vrsta gradiva - diplomsko delo ; neleposlovje za odrasle
    Založništvo in izdelava - Ljubljana : [S. Dobelšek], 2015
    Jezik - slovenski
    COBISS.SI-ID - 14254107

Signatura – lokacija, inventarna št. ... Status izvoda Rezervacija
UN 0000000506
IN: 80000506
UN 506
IN: 80000506
prosto - za čitalnico
loading ...
loading ...
loading ...