Akademska digitalna zbirka SLovenije - logo
Institut Jožef Stefan, Ljubljana (IJS)
  • Študij pojavov med toplotno obdelavo tankih plasti Ni/Si na osnovi sprotnih meritev električne upornosti : izbrani prispevki predstavljeni na 3. slovenski konferenci o materialih in tehnologijah, Portorož, 1995 = Study of interactions in Ni/Si thin films during heat treatment on a basis of the continuous electrical resistivity measurements
    Cvelbar, Andrej ...
    Tankim plastem silicija in niklja smo med segrevanjem s stalno hitrostjo 3°C/min v cevni peči v pretoku argona in-situ (sproti) merili električno upornost. Opazovali smo odvisnost poteka reakcij od ... začetnega razmerja obeh elementov in od debeline plasti niklja. Po toplotni obdelavi smo vzorce analizirali še z rentgenskim uklonom ter Augerjevo elektronsko spektroskopijo med ionskim jedkanjem. Meritve upornosti so dobra osnova za študij interakcij v tankih plasteh, saj se s spreminjanjem globinskega prereza ter s kristalizacijo nastalih spojin spreminja tudi upornost.
    Vir: Kovine zlitine tehnologije = Metals alloys technologies. - ISSN 1318-0010 (Vol. 30, št. 1-2, 1996, str. 29-33)
    Vrsta gradiva - prispevek na konferenci
    Leto - 1996
    Jezik - slovenski
    COBISS.SI-ID - 13538

    Povezava(-e):

    Digitalna knjižnica Slovenije - dLib.si

Vnos na polico