E-viri
Recenzirano
-
Leonhardt, K.
Optik (Stuttgart), 2001, 2001-00-00, Letnik: 112, Številka: 9Journal Article
The principle of the new Ellipso-Height Topometry and the basic relations for measurement and calibration are shown in detail. First topography sets are presented and discussed: topography of the height, of the ellipsometric angles Ψ and Δ, of the real and imaginary part of the complex refractive index, of the corrected heights, of the local thickness, and material maps. Results for two different samples are presented: a photolithographic object with microstructures of silicon and SiO 2 and a rough surface of a cylinder bore of a automobile engine, demonstrating the use for industrial application.
Avtor
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
Vnos na polico
Trajna povezava
- URL:
Faktor vpliva
Dostop do baze podatkov JCR je dovoljen samo uporabnikom iz Slovenije. Vaš trenutni IP-naslov ni na seznamu dovoljenih za dostop, zato je potrebna avtentikacija z ustreznim računom AAI.
Leto | Faktor vpliva | Izdaja | Kategorija | Razvrstitev | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP |
Baze podatkov, v katerih je revija indeksirana
Ime baze podatkov | Področje | Leto |
---|
Povezave do osebnih bibliografij avtorjev | Povezave do podatkov o raziskovalcih v sistemu SICRIS |
---|
Vir: Osebne bibliografije
in: SICRIS
To gradivo vam je dostopno v celotnem besedilu. Če kljub temu želite naročiti gradivo, kliknite gumb Nadaljuj.