NUK - logo
FMF, Fizikalna, astronomska in meteorološka knjižnica, Ljubljana (FMFFIZ)
  • Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning XII [Elektronski vir] : 26 February - 2 March 2023, San Jose, California, United States
    Advanced Etch Technology and Process Integration for Nanopatterning (konferenca) (12 ; 2023 ; San Jose)
    Vrsta gradiva - e-knjiga ; neleposlovje za odrasle
    Založništvo in izdelava - Bellingham : SPIE, 2023
    Jezik - angleški
    COBISS.SI-ID - 153335811