ALL libraries (COBIB.SI union bibliographic/catalogue database)
13.
Karakterizacija položajne napake pri usmerjanju laserskega snopa z akusto-optičnim odklanjalom : magistrsko delo magistrskega študijskega programa II. stopnje Strojništvo
Čebašek, Eva, 1990-
Na napravi za direktno lasersko litografijo (LDI), ki jo obravnava ta naloga se laserski snop usmerja z akusto-optičnim odklanjalom (AOD). LDI je rezultat skupnega dela Aresis d.o.o. in LPKF Laser & ...Electronics d.o.o.. Na osvetljenih vzorcih se kaže geometrijska popačenost-distorzija, ki je posledica položajnih napak pri vodenju gorišča laserskega snopa po površini obdelovanca. Zasnovani in izvedeni so bili trije eksperimenti, skozi katere smo položajno napako okarakterizirali. Najprej je bila zasnovana merilna metoda za analizo distorzije na osnovi osvetljene strukture v tankem fotorezistu. V drugem eksperimentu je bila distorzija analizirana na osnovi meritev objekta z znano pozicijo. V tretjem pa je bila preverjana hipoteza o vzroku položajne napake iz AOD-ja. Rezultati kažejo, da porazdelitev amplitude distorzije izkazuje značilno kartezično simetrijo, iz česar sklepamo, da je njen glavni vir AOD, ki odklanja snop v dveh pravokotnih oseh. Največja vrednost amplitude distorzije znaša 0,2%. Ugotovljeno je, da k skupni distorziji prispevajo predvsem nelinearnosti v piezoelektričnem pretvorniku AOD in njegovem krmilniku.
Type of material - master's thesis
; adult, serious
Publication and manufacture - Ljubljana : [E. Repnik], 2015
It was not necessary to add the material to the shelf.
Bibliographic material was successfully added on shelf.
Adding bibliographical material on shelf was not successful.
Material is already on the shelf.
Permalink
URL:
Impact factor
Access to the JCR database is permitted only to users from Slovenia. Your current IP address is not on the list of IP addresses with access permission, and authentication with the relevant AAI accout is required.
Year
Impact factor
Edition
Category
Classification
JCR
SNIP
JCR
SNIP
JCR
SNIP
JCR
SNIP
Select the library membership card:
DRS,
in which the journal is indexed
Database name
Field
Year
Links to authors' personal bibliographies
Links to information on researchers in the SICRIS system
Subject headings in COBISS General List of Subject Headings
Select pickup location
The material from the parent unit is free. If the material is delivered to the pickup location from another unit, the library may charge you for this service.
