ALL libraries (COBIB.SI union bibliographic/catalogue database)
  • Ageing effects of thin films prepared by ion beam assisted deposition : a multi-technique characterization
    Beghi, M.G. ...
    Tanka plast titanijevega nitrida (TiN) je bila pripravljena s sočasno Ti evaporacijo in ▫$N_2^+$▫ implantacijo pri 30 keV na Si(100) podlagi v parcialni ▫$N_2$▫ atmosferi. Plast smo analizirali s ... kemičnega vidika z AES in XPS metodama. Preverili smo sestavo, homogenost, stopnjo kontaminacije in različne nastale titanijeve spojine v plasti. Z metodo Brillouin-ovega sipanja smo izmerili Rayleigh-jevo hitrost pri različnih vpadnih kotih. Našli smo potrditev Sezawa načina, ki je bil omejen na zunanje področje plasti. Opazili smo, da je plast kazala tudi posledice staranja. Na mezoskopski skali je imela plast porozen značaj.
    Source: Thin solid films. - ISSN 0040-6090 (Vol. 290-291, 1996, str. 401-405)
    Type of material - article, component part
    Publish date - 1996
    Language - english
    COBISS.SI-ID - 20450

source: Thin solid films. - ISSN 0040-6090 (Vol. 290-291, 1996, str. 401-405)
loading ...
loading ...
loading ...