VSE knjižnice (vzajemna bibliografsko-kataložna baza podatkov COBIB.SI)
  • Osnovne značilnosti nizkotlačne šibkoionizirane plazme
    Mozetič, Miran, 1961- ; Drobnič, Matija ; Pregelj, Andrej
    Opisujemo osnovne značilnosti nizkotlačne šibkoionizirane plazme, ki se pogosto uporablja pri različnih obdelavah površin trdnih snovi. S preprostim fizikalnim razmislekom ocenimo vlogo elektronov, ... ionov in drugih težkih delcev v plazmi in razložimo, zakaj lahko v takšni plazmi v isti komori obstajajo delci z bistveno različnimi temperaturami.
    Vrsta gradiva - članek, sestavni del
    Leto - 1997
    Jezik - slovenski
    COBISS.SI-ID - 18146