VSE knjižnice (vzajemna bibliografsko-kataložna baza podatkov COBIB.SI)
13.
Mikromehanski senzor relativne vlažnosti na osnovi fotoobčutljive epoksidne plasti = A novel photo-definable epoxy resin for a micromachined humidity sensor
Maček, Marijan
Senzorji relativne vlažnosti so lahko uporovnega ali kapacitivnega tipa. Slednji so prevladujoči zaradi boljše linearnosti, še zlasti, če je kot senzorski material uporabljena polimerna plast. V ...zadnjem času pa je vse večjatežnja po integraciji senzorske funkcije in ustrezne CMOS-elektronike, zakar so polimerni materiali zelo ustrezni, ker omogočajo kasnejšo izvedbo senzorskega dela vezja po končanem procesiranju elektronike. Odzivne lastnosti polimerov so v veliki meri funkcija stopnje zamreženja, kot je bilo že ugotovljeno za diskretne detektorje. V pričujočem prispevku so podani rezultati, dobljeni na mikromehanskih senzorjih, katerih izdelava je kompatibilna s CMOS-procesom. Študirana sta bila dva različna polimera, eden standardno uporabljan za diskretne elemente, drugi pa na osnovi foto- občutljivega epoksija, kar znatno olajša izdelavo, ker odpade postopek jedkanje. Lastnosti primerjanih senzorjev so si zelo podobne, vendar pa preliminarni rezultati kažejo, da lahko s primernim postopkom polimerizacije epoksidne plasti dobimo večje odzive na relativno vlago.
Bibliografsko gradivo je bilo uspešno dodano na polico.
Dodajanje bibliografskega gradiva na polico ni uspelo.
Gradivo je že na polici.
Trajna povezava
URL:
Faktor vpliva
Dostop do baze podatkov JCR je dovoljen samo uporabnikom iz Slovenije. Vaš trenutni IP-naslov ni na seznamu dovoljenih za dostop, zato je potrebna avtentikacija z ustreznim računom AAI.
Leto
Faktor vpliva
Izdaja
Kategorija
Razvrstitev
JCR
SNIP
JCR
SNIP
JCR
SNIP
JCR
SNIP
Izberite knjižnično izkaznico:
Baze podatkov,
v katerih je revija indeksirana
Ime baze podatkov
Področje
Leto
Povezave do osebnih bibliografij avtorjev
Povezave do podatkov o raziskovalcih v sistemu SICRIS
Storitev za pridobivanje naslova trenutno ni dostopna, prosimo, poskusite še enkrat.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrano prevzemno mesto in dokončali postopek rezervacije.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrano prevzemno mesto in naslov za dostavo ter dokončali postopek rezervacije.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrani naslov za dostavo in dokončali postopek rezervacije.
Obvestilo
Trenutno je storitev za avtomatsko prijavo in rezervacijo nedostopna. Gradivo lahko rezervirate sami na portalu Biblos ali ponovno poskusite tukaj kasneje.
Citiranje
Funkcionalnost trenutno ni na voljo. Prosimo, poskusite kasneje.
