VSE knjižnice (vzajemna bibliografsko-kataložna baza podatkov COBIB.SI)
  • Površinske analize katod in anod iz magnetronskih celic
    Vesel, Alenka ...
    Magnetronske celice se uporabljajo kot merilnik tlaka ali pa kot sestavni del ionsko naprševanih črpalk, ki so namenjene doseganju ultra visokega vakuuma. Delovenje celice sloni na vzpostavitvi ... razelektritve med dvema elektrodama. V razelektritvi pri trkih z elektroni nastajajo ioni, ki se v električnem polju pospešijo proti katodi in trčijo vanjo. Trki ionov v katodo povzročajo erozijo katodnega materiala, ki se nalaga na notranje stene celice. Ker je za delovanje celice pomembno stanje površine znotraj celice, smo z metodo AES in vrstičnim elektronskim mikroskopom preiskovali površino katod in anod iz različnih maganetronskih celic, ki so predhodno delovale pri različnih pogojih (tlaku, napetosti, magnetnemu polju). AES profilni diagaram je pokazal, da je med obratovanjem celic na površini anode nastala plast titanovih spojin (nitridov, oksidov in karabidov) debeline 10 nm. Pričakovna nastala plast je posledica reakcije napršenega titana iz kaotde s plini. Na fotografijah površin katod in anod, ki smo jih naredili z vrstičnim elektronskim mikroskopom, je opaziti vzorec vzporednih črt, ki je najverjetneje nastal prai struženju ali pri poliranju anod in katod. Na fotografijah kataod pa ni opaznih pričakovanih vzorcev, ki nastanejo zaradi ionskega jedkanja.
    Vir: Raziskovalno delo podiplomskih študentov Slovenije. Naravoslovje in tehnika (Str. 281-289)
    Vrsta gradiva - prispevek na konferenci ; neleposlovje za odrasle
    Leto - 2000
    Jezik - slovenski
    COBISS.SI-ID - 49122

Vnos na polico