Fakulteta za strojništvo, Ljubljana (FSLJ)
-
Naprava za centrifugalno nanašanje tankih plasti : diplomska naloga visokošolskega strokovnega študijskega programa I. stopnje strojništvoPiškur, RokV okviru diplomskega dela je bila zasnovana in izdelana prototipna naprava za centrifu- galno nanašanje tankih plasti, ki se lahko uporablja v fotolitografiji. Izdelana naprava sestoji iz vakuumske ... enote za pritrditev substrata, brezkrtačnega DC motorja s pripadajočim krmilnikom za vrtenje ter mikroprocesorskega krmilnega modula, ki omogoča nastavljanje hitrostnega profila med procesom nanašanja. Naprava omogoča nastavitev hitrostnega profila pri hitrostih vrtenja med 200 in 8000 vrt/min in trajanja do 341 s. Izvedena je bila kalibracija naprave ter demonstrirana njena praktična uporaba pri nanašanju pozitivnih fotorezistov. Izdelani tankoplastni vzorci in iz njih pridobljeni rezultati se lahko primerjajo s plastmi komercialnih naprav in so tudi primerni za naslednje postopke obdelave površine.Vrsta gradiva - diplomsko delo ; neleposlovje za odrasleZaložništvo in izdelava - Ljubljana : [R. Piškur], 2015Jezik - slovenskiCOBISS.SI-ID - 14203931
Avtor
Piškur, Rok
Drugi avtorji
Diaci, Janez
Teme
diplomske naloge |
centrifugalno nanašanje |
izdelava tankih plasti |
mikro-tehnika |
optična litografija
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
Signatura – lokacija, inventarna št. ... |
Status izvoda | Rezervacija |
---|---|---|
VS 0000000200 IN: 60000200 VS 200 IN: 60000200 |
prosto - za čitalnico
|
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
Vnos na polico
Trajna povezava
- URL:
Faktor vpliva
Dostop do baze podatkov JCR je dovoljen samo uporabnikom iz Slovenije. Vaš trenutni IP-naslov ni na seznamu dovoljenih za dostop, zato je potrebna avtentikacija z ustreznim računom AAI.
Leto | Faktor vpliva | Izdaja | Kategorija | Razvrstitev | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP |
Baze podatkov, v katerih je revija indeksirana
Ime baze podatkov | Področje | Leto |
---|
Povezave do osebnih bibliografij avtorjev | Povezave do podatkov o raziskovalcih v sistemu SICRIS |
---|---|
Piškur, Rok | ![]() |
Diaci, Janez | 04107 |
Vir: Osebne bibliografije
in: SICRIS
Izberite prevzemno mesto:
Prevzem gradiva po pošti
Naslov za dostavo:
Med podatki člana manjka naslov.
Storitev za pridobivanje naslova trenutno ni dostopna, prosimo, poskusite še enkrat.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrano prevzemno mesto in dokončali postopek rezervacije.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrano prevzemno mesto in naslov za dostavo ter dokončali postopek rezervacije.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrani naslov za dostavo in dokončali postopek rezervacije.
Obvestilo
Trenutno je storitev za avtomatsko prijavo in rezervacijo nedostopna. Gradivo lahko rezervirate sami na portalu Biblos ali ponovno poskusite tukaj kasneje.
Gesla v Splošnem geslovniku COBISS
Izbira mesta prevzema
Gradivo iz matične enote je brezplačno. Če je gradivo na mesto prevzema dostavljeno iz drugih enot, lahko knjižnica to storitev zaračuna.
Mesto prevzema | Status gradiva | Rezervacija |
---|
Rezervacija v teku
Prosimo, počakajte trenutek.
Rezervacija je uspela.
Rezervacija ni uspela.
Rezervacija...
Članska izkaznica:
Mesto prevzema: