Narodna in univerzitetna knjižnica, Ljubljana (NUK)
-
Karakterizacija v vakuumu naparjenih tankih plasti aluminija na silicijeve rezinePraček, Borut ; Muštra, S.Nanašanje tankih plasti aluminija na silicijeve rezine je pomemben del polprevodniške tehnologije. V članku so podani rezultati karakterizacije tankih plasti aluminija s spektroskopijo Augerjevih ... elektronov v kombinaciji s C-V metodo in interferometrijo. Prikazani rezultati so dobljeni s preiskavo šestih karakterističnih vzorcev. Tanka plast aluminija je bila nanešena na tri vzorce z elektronskim curkom, na preostale tri pa z indirektnim uporovim ogrevanjem na volframski spirali. Na enem vzorcu iz obeh skupin je bila pred nanosom plasti aluminija, na silicijevih rezinah s termično oksidacijo izdelana samo tanka plast silicijevega oksida. Na drugih dveh je pred nanašanjem Al plasti z difuzijo bora izdelan np spoj ter na preostalih dveh z difuzijo fosforja pn na spoj. Debelina, kemična sestava in elektronske lastnosti tako naparjenih plasti aluminija se najbolj razlikujejo pri tistih plasteh, ki so nanesene na silicijev dioksid, zaradi redukcije tega z aluminijem. Prav tako smo ugotovili, da so Al plasti nanešene z elektronskim curkom veliko boljše v pogledu gibljivih in negibljivih nabitih delcev, katere vnašajo na silicijev dioksid.Vir: Informacije MIDEM : časopis za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materiale = časopis za mikroelektroniku, elektronske sastavne dijelove i materijale = journal of microelectronics, electronic components and materials. - ISSN 0352-9045 (Letn. 24, št. 2, jun. 1994, str. 123-125)Vrsta gradiva - članek, sestavni delLeto - 1994Jezik - slovenskiCOBISS.SI-ID - 109492736
Vnos na polico
Trajna povezava
- URL:
Faktor vpliva
Dostop do baze podatkov JCR je dovoljen samo uporabnikom iz Slovenije. Vaš trenutni IP-naslov ni na seznamu dovoljenih za dostop, zato je potrebna avtentikacija z ustreznim računom AAI.
Leto | Faktor vpliva | Izdaja | Kategorija | Razvrstitev | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP |
Baze podatkov, v katerih je revija indeksirana
Ime baze podatkov | Področje | Leto |
---|
Povezave do osebnih bibliografij avtorjev | Povezave do podatkov o raziskovalcih v sistemu SICRIS |
---|---|
Praček, Borut | 09105 |
Vir: Osebne bibliografije
in: SICRIS
Izberite prevzemno mesto:
Prevzem gradiva po pošti
Naslov za dostavo:
Med podatki člana manjka naslov.
Storitev za pridobivanje naslova trenutno ni dostopna, prosimo, poskusite še enkrat.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrano prevzemno mesto in dokončali postopek rezervacije.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrano prevzemno mesto in naslov za dostavo ter dokončali postopek rezervacije.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrani naslov za dostavo in dokončali postopek rezervacije.
Obvestilo
Trenutno je storitev za avtomatsko prijavo in rezervacijo nedostopna. Gradivo lahko rezervirate sami na portalu Biblos ali ponovno poskusite tukaj kasneje.
Gesla v Splošnem geslovniku COBISS
Izbira mesta prevzema
Gradivo iz matične enote je brezplačno. Če je gradivo na mesto prevzema dostavljeno iz drugih enot, lahko knjižnica to storitev zaračuna.
Mesto prevzema | Status gradiva | Rezervacija |
---|
Rezervacija v teku
Prosimo, počakajte trenutek.
Rezervacija je uspela.
Rezervacija ni uspela.
Rezervacija...
Članska izkaznica:
Mesto prevzema:
Naročanje gradiva za izposojo v čitalnice
Naročanje kopij člankov
Urnik dostave gradiva z oznako DS v signaturi