Narodna in univerzitetna knjižnica, Ljubljana (NUK)
Naročanje gradiva za izposojo na dom
Naročanje gradiva za izposojo v čitalnice
Naročanje kopij člankov
Urnik dostave gradiva z oznako DS v signaturi
  • Študij rasti titanovega silicida
    Godec, Matjaž ...
    Silicidi so zadnjih deset let tema intenzivnih raziskav, predvsem zaradi vse pogostejše uporabe v integriranih vezjih. Med njimi je najpomembnejši ▫$TiSi_2$▫ zaradi nizke električne upornosti, velike ... stabilnosti in kompatibilnosti s procesom izdelave integriranih vezij. Predstavljeni so modeli napovedovanja nastanka prve faze oziroma zaporedja nastanka faz pri pregrevanju Si-Ti sistema. Na primeru večplastne strukture je prikazan študij rasti titanovega silicida. Nastanek posameznih silicidnih faz smo zasledovali z in-situ meritvijo upornosti, s presevno elektronsko mikroskopijo prerezov (XTEM), z rentgensko difraktografijo in z Augerjevo profilno analizo.
    Vir: Kovine zlitine tehnologije = Metals alloys technologies. - ISSN 1318-0010 (Ilustr., Letn. 29, št. 1/2, jan.-jun. 1995, str. 315-318)
    Vrsta gradiva - prispevek na konferenci
    Leto - 1995
    Jezik - slovenski
    COBISS.SI-ID - 17108741

    Povezava(-e):

    Digitalna knjižnica Slovenije - dLib.si

vir: Kovine zlitine tehnologije = Metals alloys technologies. - ISSN 1318-0010 (Ilustr., Letn. 29, št. 1/2, jan.-jun. 1995, str. 315-318)

loading ...
loading ...
loading ...

Vnos na polico