Narodna in univerzitetna knjižnica, Ljubljana (NUK)
-
Characterization of hard Ti-W-N films deposited by reactive d.c. magnetron sputtering = Karakterizacija trdih TiWN plasti deponiranih z reaktivnim dc magnetronskim naprševanjemShaginyan, Leonid R. ...TiWN plasti so bile deponirane z reaktivnim magnetronskim naprševanjem iz W-Ti (30 at.%) tarče v atmosferi iz dušika in argona na substrate iz jekla in silicija na oddaljenosti 50 nm od tarče. Skupni ... pritisk pred začetkom naprševanja je bil 0.5 Pa, pretok plina pa 50 sccm. Značilni parametri depozicije so bili: temperatura substrata 320°C, hitrost depozicije 3 mm/s, debelina plasti 3.5 ▫$\mu$▫m, bias substrata -100 V in poprečni ionski tok substrata 1.2 mA/▫$cm^2$▫. Kristalna struktura, sestava in mikrotrdota so bile določene v odvisnosti od parametrov depozicije: vsebnost dušika v atmosferi ter gostote ionskega toka in biasa substrata. Plasti z manj od 30 at.% dušika so bile sestavljene iz bbc W in hcp Ti faz. Trdota teh plasti je rastla z vsebnostjo dušika od 25 GPa za 0% do maksimuma 60 GPa pri 25 at.% N. Povečanje trdote je rastlo z mikrodeformacijami, ki so se pokazale s širjenjem uklona X žarkov. Plasti z nad 30 at.% N so imele trdoto okoli 40 GPa, uklon X žarkov pa je bil značilen za neko fcc fazo.Vir: Kovine zlitine tehnologije = Metals alloys technologies. - ISSN 1318-0010 (Letn. 33, št. 6, nov.-dec. 1999, str. 497-500)Vrsta gradiva - članek, sestavni delLeto - 1999Jezik - angleškiCOBISS.SI-ID - 205738
Avtor
Shaginyan, Leonid R. |
Mišina, Martin |
Musil, Jindřich |
Regent, Filip
Teme
kovinske prevleke |
titan |
volfram |
nitridi |
naprševanje |
mikrostruktura |
trdota
vir: Kovine zlitine tehnologije = Metals alloys technologies. - ISSN 1318-0010 (Letn. 33, št. 6, nov.-dec. 1999, str. 497-500)
Vnos na polico
Trajna povezava
- URL:
Faktor vpliva
Dostop do baze podatkov JCR je dovoljen samo uporabnikom iz Slovenije. Vaš trenutni IP-naslov ni na seznamu dovoljenih za dostop, zato je potrebna avtentikacija z ustreznim računom AAI.
Leto | Faktor vpliva | Izdaja | Kategorija | Razvrstitev | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP |
Baze podatkov, v katerih je revija indeksirana
Ime baze podatkov | Področje | Leto |
---|
Povezave do osebnih bibliografij avtorjev | Povezave do podatkov o raziskovalcih v sistemu SICRIS |
---|
Vir: Osebne bibliografije
in: SICRIS
Izberite prevzemno mesto:
Prevzem gradiva po pošti
Naslov za dostavo:
Med podatki člana manjka naslov.
Storitev za pridobivanje naslova trenutno ni dostopna, prosimo, poskusite še enkrat.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrano prevzemno mesto in dokončali postopek rezervacije.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrano prevzemno mesto in naslov za dostavo ter dokončali postopek rezervacije.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrani naslov za dostavo in dokončali postopek rezervacije.
Obvestilo
Trenutno je storitev za avtomatsko prijavo in rezervacijo nedostopna. Gradivo lahko rezervirate sami na portalu Biblos ali ponovno poskusite tukaj kasneje.
Gesla v Splošnem geslovniku COBISS
Izbira mesta prevzema
Gradivo iz matične enote je brezplačno. Če je gradivo na mesto prevzema dostavljeno iz drugih enot, lahko knjižnica to storitev zaračuna.
Mesto prevzema | Status gradiva | Rezervacija |
---|
Rezervacija v teku
Prosimo, počakajte trenutek.
Rezervacija je uspela.
Rezervacija ni uspela.
Rezervacija...
Članska izkaznica:
Mesto prevzema:
Naročanje gradiva za izposojo v čitalnice
Naročanje kopij člankov
Urnik dostave gradiva z oznako DS v signaturi