Narodna in univerzitetna knjižnica, Ljubljana (NUK)
Naročanje gradiva za izposojo na dom
Naročanje gradiva za izposojo v čitalnice
Naročanje kopij člankov
Urnik dostave gradiva z oznako DS v signaturi
  • Meritev debeline tankih plasti v SEM s signalom povratno sipanih elektronov = Measurements of thin film thickness in SEM with backscattered electrons
    Kaker, Henrik ; Buhvald, Alojz ; Perovnik, Vlado
    Osnova analize s povratno sipanimi elektroni (PSE) v vrstičnem elektronskem mikroskopu (SEM) je monotono naraščanje koeficienta povratnega sipanja z atomskim številom vzorca. Kot praktičen primer ... analize s PSE smo merili debelino vakuumsko napaarjenih tankih plasti Cu na podlagi iz 0,1 mm debele PET (polietilen-tereftalat) - folije. Debeline tankih plasti, izračunane z metodo Monte Carlo, po formuli Hungerja - Rogaschewskega, se dokaj dobro skladajo med seboj in z meritvami tankih plasti Cu na organski podlagi, medtem ko so rezultati po formuli Niedriga in Reuterja bistveno premajhni.
    Vir: Materiali in tehnologije = Materials and technology. - ISSN 1580-2949 (Letn. 34, št. 3/4, maj-avg. 2000, str. 157-159)
    Vrsta gradiva - članek, sestavni del ; neleposlovje za odrasle
    Leto - 2000
    Jezik - slovenski
    COBISS.SI-ID - 222122

vir: Materiali in tehnologije = Materials and technology. - ISSN 1580-2949 (Letn. 34, št. 3/4, maj-avg. 2000, str. 157-159)

loading ...
loading ...
loading ...