Narodna in univerzitetna knjižnica, Ljubljana (NUK)
-
Materials characterization by Auger electron spectroscopy sputter depth profiling = Karakterizacija materialov z Augerjevo elektronsko-spektroskopsko (AES) profilno analizoZalar, AntonDepth profiling by ion sputtering in combination with Auger electron spectroscopy (AES) has become a valuable analytical tool in microelectronics and those areas of research and technology where the ... chemical composition of surfaces, interfaces and thin films is of importance. Its application range from fundamental surface and interface studies to thin-film structures for electronic and microelectronic devices, wear- and corrosion-resistant coatings, surfaces modified by plasma technique or ion implantation, etc. Reactions at surfaces as well as resulting electrical and mechanical properties can only be understood if the relevant chemical and structural changes in the investigated thin-film structures are known. This requires a quantitative spatially resolved analysis and in-depth distribution of chemical composition with a high depth distribution of chemical composition with a high depth resolution. However, ion sputtering is not an ideal layer-by-layer erosion but is a result of a complex ion beam-sample interaction proacess. Various phenomena, the most important of which are due to ion beam induced changes of surface roughness and composition, limit the experimentally achievable resolution. The principles of the method and its fundamental capabilities and limitations will be discussed. The applicability of the AES depth profiling in microelectronics and some other technical fields will be illustrated by depth profiles of the characteristic samples.Vir: Informacije MIDEM : časopis za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materiale = časopis za mikroelektroniku, elektronske sastavne dijelove i materijale = journal of microelectronics, electronic components and materials. - ISSN 0352-9045 (Letn. 30, št. 4, dec. 2000, str. 203-209)Vrsta gradiva - prispevek na konferenciLeto - 2000Jezik - angleškiCOBISS.SI-ID - 2234964
Avtor
Zalar, Anton
Teme
naprševanje |
tanke plasti |
karakterizacija materialov |
AES |
Augerjeva spektroskopija |
polprevodniki
Vnos na polico
Trajna povezava
- URL:
Faktor vpliva
Dostop do baze podatkov JCR je dovoljen samo uporabnikom iz Slovenije. Vaš trenutni IP-naslov ni na seznamu dovoljenih za dostop, zato je potrebna avtentikacija z ustreznim računom AAI.
Leto | Faktor vpliva | Izdaja | Kategorija | Razvrstitev | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP |
Baze podatkov, v katerih je revija indeksirana
Ime baze podatkov | Področje | Leto |
---|
Povezave do osebnih bibliografij avtorjev | Povezave do podatkov o raziskovalcih v sistemu SICRIS |
---|---|
Zalar, Anton | 01741 |
Vir: Osebne bibliografije
in: SICRIS
Izberite prevzemno mesto:
Prevzem gradiva po pošti
Naslov za dostavo:
Med podatki člana manjka naslov.
Storitev za pridobivanje naslova trenutno ni dostopna, prosimo, poskusite še enkrat.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrano prevzemno mesto in dokončali postopek rezervacije.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrano prevzemno mesto in naslov za dostavo ter dokončali postopek rezervacije.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrani naslov za dostavo in dokončali postopek rezervacije.
Obvestilo
Trenutno je storitev za avtomatsko prijavo in rezervacijo nedostopna. Gradivo lahko rezervirate sami na portalu Biblos ali ponovno poskusite tukaj kasneje.
Gesla v Splošnem geslovniku COBISS
Izbira mesta prevzema
Gradivo iz matične enote je brezplačno. Če je gradivo na mesto prevzema dostavljeno iz drugih enot, lahko knjižnica to storitev zaračuna.
Mesto prevzema | Status gradiva | Rezervacija |
---|
Rezervacija v teku
Prosimo, počakajte trenutek.
Rezervacija je uspela.
Rezervacija ni uspela.
Rezervacija...
Članska izkaznica:
Mesto prevzema:
Naročanje gradiva za izposojo v čitalnice
Naročanje kopij člankov
Urnik dostave gradiva z oznako DS v signaturi