Narodna in univerzitetna knjižnica, Ljubljana (NUK)
-
Ion implantation; a modern tool of surface engineering = Ionska implantacija, sodobna metoda za obdelavo površinJagielski, Jacek ...Ion implantation is a doping technique which uses energetic ion beams as vector of mass transport. The atoms to be implanted (often called impurity atoms) are thus ionized, accelerated, selected and ... directed towards the target. Due to the high kinetic energy (typically tens to hundreds of keV) the accelerated ions penetrate the target up to the depths from tens to thousands of nanometers. This method allows one to dope virtually all solids with any kind of atoms with high uniformity and up to very high concentrations. The basic principles, advantages and drawbacks as well as possible fields of application of ion implantation technique are briefly presented.Vir: Informacije MIDEM : časopis za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materiale = časopis za mikroelektroniku, elektronske sastavne dijelove i materijale = journal of microelectronics, electronic components and materials. - ISSN 0352-9045 (Letn. 29, št. 2, jun. 1999, str. 61-67)Vrsta gradiva - članek, sestavni delLeto - 1999Jezik - angleškiCOBISS.SI-ID - 38370
Avtor
Jagielski, Jacek |
Gawlik, Grzegorz |
Zalar, Anton |
Mozetič, Miran, 1961-
Teme
tanke plasti |
površine |
implantacija |
ioni |
dopiranje
Vnos na polico
Trajna povezava
- URL:
Faktor vpliva
Dostop do baze podatkov JCR je dovoljen samo uporabnikom iz Slovenije. Vaš trenutni IP-naslov ni na seznamu dovoljenih za dostop, zato je potrebna avtentikacija z ustreznim računom AAI.
Leto | Faktor vpliva | Izdaja | Kategorija | Razvrstitev | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP |
Baze podatkov, v katerih je revija indeksirana
Ime baze podatkov | Področje | Leto |
---|
Povezave do osebnih bibliografij avtorjev | Povezave do podatkov o raziskovalcih v sistemu SICRIS |
---|---|
Zalar, Anton | 01741 |
Mozetič, Miran, 1961- | 10429 |
Vir: Osebne bibliografije
in: SICRIS
Izberite prevzemno mesto:
Prevzem gradiva po pošti
Naslov za dostavo:
Med podatki člana manjka naslov.
Storitev za pridobivanje naslova trenutno ni dostopna, prosimo, poskusite še enkrat.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrano prevzemno mesto in dokončali postopek rezervacije.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrano prevzemno mesto in naslov za dostavo ter dokončali postopek rezervacije.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrani naslov za dostavo in dokončali postopek rezervacije.
Obvestilo
Trenutno je storitev za avtomatsko prijavo in rezervacijo nedostopna. Gradivo lahko rezervirate sami na portalu Biblos ali ponovno poskusite tukaj kasneje.
Gesla v Splošnem geslovniku COBISS
Izbira mesta prevzema
Gradivo iz matične enote je brezplačno. Če je gradivo na mesto prevzema dostavljeno iz drugih enot, lahko knjižnica to storitev zaračuna.
Mesto prevzema | Status gradiva | Rezervacija |
---|
Rezervacija v teku
Prosimo, počakajte trenutek.
Rezervacija je uspela.
Rezervacija ni uspela.
Rezervacija...
Članska izkaznica:
Mesto prevzema:
Naročanje gradiva za izposojo v čitalnice
Naročanje kopij člankov
Urnik dostave gradiva z oznako DS v signaturi