Narodna in univerzitetna knjižnica, Ljubljana (NUK)
Naročanje gradiva za izposojo na dom
Naročanje gradiva za izposojo v čitalnice
Naročanje kopij člankov
Urnik dostave gradiva z oznako DS v signaturi
  • Avtomatizacija postopka naprševanja na laboratorijskem visokovakuumskem sistemu = Automation of the sputtering process on high vacuum lab system
    Berič, Boris ...
    V vseh sodobnih vakuumskih sistemih upravljamo ventile in druge elemente indirektno z elektromagnetno pnevmatiko. Zaradi varnosti mora biti vklučena kontrola sproženih gibov, tehnološki proces pa ... zahteva še prirejenost teh dejanj spreminjajočim se parametrom, kot so tlak, temperatura, jakost toka, debelina nastajajoče tanke plasti, čas jedkanja itd. Potrebni so torej senzorji gibov in drugih pomembnih veličin. Za celotno obravnavanje podatkov ter upravljanje elementov in s tem vodenje procesa se vse bolj uveljavlja uporaba mikroprocesorjev. Prispevek opisuje razvoj in izvedbo računalniškega krmiljenja, ki je bilo vgrajeno v visokovakuumski črpalni sistem VS 10.
    Vir: Kovine zlitine tehnologije = Metals alloys technologies. - ISSN 1318-0010 (Letn. 31, št. 3/4, maj-avg. 1997, str. 281-283)
    Vrsta gradiva - članek, sestavni del
    Leto - 1997
    Jezik - slovenski
    COBISS.SI-ID - 66986

    Povezava(-e):

    Digitalna knjižnica Slovenije - dLib.si

vir: Kovine zlitine tehnologije = Metals alloys technologies. - ISSN 1318-0010 (Letn. 31, št. 3/4, maj-avg. 1997, str. 281-283)

loading ...
loading ...
loading ...

Vnos na polico