Narodna in univerzitetna knjižnica, Ljubljana (NUK)
-
Sputtering of thin films = Naprševanje tankih plastiMusil, JindrichǂThe ǂsputtering and evaporation of solid materials are fundamental physical processes now currently used in the Physical Vapour Deposition (PVD) of thin films. Up to the mid 70's, however, ... evaporation dominated over sputtering in PVD technologies. It was due mainly to a verya low sputter deposition rate of the film and relatively high pressures (> 1 Pa) needed to sustain the sputtering discharge. The breakthrough arrived when the planar magnetron was discovered by Chaplin (1) in 1974. From this moment a very strong development of the sputtering method started. In this paper the main milestones reached in the development of sputtering discharges and deposition of thin films are given. Also, the present trends of the next developments in this field which will meet the requirements of new advanced technologies in the first years of the 21st century are outlined.Vir: Kovine zlitine tehnologije = Metals alloys technologies. - ISSN 1318-0010 (Letn. 31, št. 1/2, jan.-apr. 1997, str. 107-111)Vrsta gradiva - članek, sestavni delLeto - 1997Jezik - angleškiCOBISS.SI-ID - 68010
vir: Kovine zlitine tehnologije = Metals alloys technologies. - ISSN 1318-0010 (Letn. 31, št. 1/2, jan.-apr. 1997, str. 107-111)
Vnos na polico
Trajna povezava
- URL:
Faktor vpliva
Dostop do baze podatkov JCR je dovoljen samo uporabnikom iz Slovenije. Vaš trenutni IP-naslov ni na seznamu dovoljenih za dostop, zato je potrebna avtentikacija z ustreznim računom AAI.
Leto | Faktor vpliva | Izdaja | Kategorija | Razvrstitev | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP |
Baze podatkov, v katerih je revija indeksirana
Ime baze podatkov | Področje | Leto |
---|
Povezave do osebnih bibliografij avtorjev | Povezave do podatkov o raziskovalcih v sistemu SICRIS |
---|
Vir: Osebne bibliografije
in: SICRIS
Izberite prevzemno mesto:
Prevzem gradiva po pošti
Naslov za dostavo:
Med podatki člana manjka naslov.
Storitev za pridobivanje naslova trenutno ni dostopna, prosimo, poskusite še enkrat.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrano prevzemno mesto in dokončali postopek rezervacije.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrano prevzemno mesto in naslov za dostavo ter dokončali postopek rezervacije.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrani naslov za dostavo in dokončali postopek rezervacije.
Obvestilo
Trenutno je storitev za avtomatsko prijavo in rezervacijo nedostopna. Gradivo lahko rezervirate sami na portalu Biblos ali ponovno poskusite tukaj kasneje.
Gesla v Splošnem geslovniku COBISS
Izbira mesta prevzema
Gradivo iz matične enote je brezplačno. Če je gradivo na mesto prevzema dostavljeno iz drugih enot, lahko knjižnica to storitev zaračuna.
Mesto prevzema | Status gradiva | Rezervacija |
---|
Rezervacija v teku
Prosimo, počakajte trenutek.
Rezervacija je uspela.
Rezervacija ni uspela.
Rezervacija...
Članska izkaznica:
Mesto prevzema:
Naročanje gradiva za izposojo v čitalnice
Naročanje kopij člankov
Urnik dostave gradiva z oznako DS v signaturi