(UL)
  • Characterization of TEOS thin film depositions on PECVD reactors
    Iliescu, Ciprian ...
    Vir: Conference 2014, proceedings (Str. 127-131)
    Vrsta gradiva - prispevek na konferenci ; neleposlovje za odrasle
    Leto - 2014
    Jezik - angleški
    COBISS.SI-ID - 10808148