-
Karakteristike magnetronskega ionizacijskega merilnika s hladno katodo v visokovakuumskem (VV) in ultra visokovakuumskem (UVV) področju = Characteristics of a magnetron cold-cathode ionization gauge in the high- vacuum (HV) and ultra high- vacuum (UHV) rangesErjavec, Bojan, 1950-2023 ; Šetina, Janez ; Irmančnik-Belič, LidijaModel merilne glave z navadno magnetronsko geometrijo je bil konstruiran na osnovi standardne miniaturne ionsko-razprševalne črpalke z dodatnimi spremembami, kot so: bakreni katodni plošči, katodna ... palica iz nerjavnega jekla, električno izolirano ohišje, visokonapetostna prevodnica z veliko električno prebojno trdnostjo in oklopljen magnet iz zlitine Sm-Co. Zadnje tri spremembe so omogočile natančne meritve razelektritvenih tokov od 0,1 nA do ▫$\mu$▫A. Karakteristike magnetonske celice so bile izmerjene z referenčnim ekstraktorskim merilnikom na UVV kalibracijskem sistemu za primerjavo merilnikov. Za preskusne pline smo izbrali dušik, vodik, argon in helij. Najprej smo izmerili jakost razelektritve v odvisnosti od anodne napetosti znotraj področja 10 kV pri različnih tlakih, izbranih v območju od 1x10$^-9$ do 1x10$^-6$ mbar. Potek jakosti razelektritve je približno enak za vse preskusne pline. Maksimum jakosti razelektritve, ki je izmerjen pri višjem tlaku, je pomaknjen k višji anodni napetosti. Nato smo izmerili razelektritveni tok v odvisnosti od tlaka dušika v UVV in VV področju pri različnih delovnih napetostih, izbranih v območju od 2,5 do 4,5 kV. Optimalna karakteristika razelektritvenega toka v odvisnosti od tlaka je bila izmerjena pri delovni napetosti 3,5 kV in se lahko aproksimira s potenčno funkcijo z eksponentom n = 1,28. V VV področju je bila pri različnih delovnih napetostih ugotovljena tudi črpalna hitrost magnetonske celice z merjenjem ravnotežnega tlaka dušika, kjer smo uporabili viskoznostni merilnik z lebdečo kroglico, in ravnotežnega pretoka dušika z metodo hitrosti naraščanja tlaka. Pri tlaku dušika 1x10$^-6$ mbar in delovni napetosti 3,5 kV je občutljivost magnetonske celice 9,3 A/mbar in ustrezna črpalna hitrost 0,6 l/s.Vir: Materiali in tehnologije = Materials and technology. - ISSN 1580-2949 (Letn. 35, št. 5, 2001, str. 251-257)Vrsta gradiva - članek, sestavni del ; neleposlovje za odrasleLeto - 2001Jezik - slovenskiCOBISS.SI-ID - 285023
Avtor
Erjavec, Bojan, 1950-2023 |
Šetina, Janez |
Irmančnik-Belič, Lidija
Teme
jeklo |
magnetronska celica |
jakost razelektritve |
potencialna porazdelitev |
radialna električna poljska jakost |
prečno polje |
nelinearnost |
nezveznosti |
nezveznosti |
magnetron cell |
discharge intensity |
potential distribution |
radial electric-field strength |
crossed-field |
non-linearity |
discontinuities
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
vir: Materiali in tehnologije = Materials and technology. - ISSN 1580-2949 (Letn. 35, št. 5, 2001, str. 251-257)
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
Vnos na polico
Trajna povezava
- URL:
Faktor vpliva
Dostop do baze podatkov JCR je dovoljen samo uporabnikom iz Slovenije. Vaš trenutni IP-naslov ni na seznamu dovoljenih za dostop, zato je potrebna avtentikacija z ustreznim računom AAI.
Leto | Faktor vpliva | Izdaja | Kategorija | Razvrstitev | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP |
Baze podatkov, v katerih je revija indeksirana
Ime baze podatkov | Področje | Leto |
---|
Povezave do osebnih bibliografij avtorjev | Povezave do podatkov o raziskovalcih v sistemu SICRIS |
---|---|
Erjavec, Bojan, 1950-2023 | 05673 |
Šetina, Janez | 04254 |
Irmančnik-Belič, Lidija | 09846 |
Izberite prevzemno mesto:
Prevzem gradiva po pošti
Obvestilo
Gesla v Splošnem geslovniku COBISS
Izbira mesta prevzema
Mesto prevzema | Status gradiva | Rezervacija |
---|
Prosimo, počakajte trenutek.