Um die Grenzen der optischen Messtechnik zu erweitern und feinere Strukturen messbar zu machen, wurden verschiedene Systeme in der aktuellen Forschung publiziert. Es wurde gezeigt, dass im Nahfeld aufgebrachte Mikrokugeln die Auflösung eines interferometrischen Messsystems verbessern und Strukturen unterhalb Abbe’s Beugungsgrenze sichtbar machen können. In dieser Studie werden Messergebnisse mit einem hochauflösenden Linnik-Interferometer unterhalb der Auflösungsgrenze gezeigt. Des Weiteren werden simulative Analysen zum Phasenverhalten im Nahfeld der Mikrokugeln vorgestellt, um die theoretische Erklärung des superauflösenden Verhaltens von Mikrokugeln und die bildgebenden Prozesse des Systems zu ermöglichen.