(UM)
-
Raziskave karakteristik magnetronske razelektritve v ultravisokem vakuumu : doktorska disertacijaVesel, AlenkaDelo, ki je bilo opravljeno v okviru te disertacije, je nastalo z namenom, da bi prispevala svoj delež k razumevanju značilnosti razelektritve v magnetronskih celicah. Magnetronsko celico so do sedaj ... uporabljali predvsem kot merilnik tlaka, pri čemer se je pokazala možnost, da bi jo lahko zaradi njenih dobrih lastnosti, kot je velika jakost razelektritve in zelo nizek dosežen tlak, uporabili tudi kot sestavni del ionsko-razprševalnih črpalk. Velika jakost razelektritve vpliva na boljše črpalne lastnosti celice. Ioni, ki nastajajo v razelektritvi, trkajo v titanovo katodo in razpršujejo iz nje atome titana, ki kemijsko reagirajo z molekulami plina. Tako poteka črpanje v celici. Čim močnejši je razelektritveni tok, tem večje je razprševanje in s tem boljše črpanje. Ker je razelektritveni tok odvisen od več parametrov, kot so magnetno polje, napetost in geometrija celice, sem se odločila za podrobnejše raziskave z namenom, da bi ugotovila, kakšni so optimalni pogoji za delovanje celice. V ta namen sem raziskovala odvisnost razelektritvenega toka od napetosti, magnetnega polja in tlaka. Predvidevala sem, da obstaja neko optimalno področje napetosti in magnetnega polja, pri katerem bo jakost razelektritve maksimalna. Rezultati so potrdili to tezo. Izkazalo se je, da razelektritveni tok pri neki napetosti doseže maksimum. Napetost, pri kateri se to zgodi, pa je odvisna od magnetnega polja. Višje magnetno polje zahteva višjo napetost. Raziskovala sem tudi vpliv dolžine celice in oblike osrednje titanove katode na razelektritveni tok. Izdelane so bile celice z dolžino 13, 20, 25, 35 in 50 mm. Pričakovala sem, da bo razelektritveni tok v daljših celicah večji. Rezultati so pokazali nasprotno. Tok je bil največji v celici z dolžino 20 mm, pri daljših celicah pa je padel zaradi nastanka plazme, ki neugodno vpliva na črpalne lastnosti celice. Oblika katode vpliva na vpadni kot ionov in s tem na količino razpršenega materiala ter na koeficient sekundarne emisije elektronov, ki pomagajo pri vzdrževanju razelektritve. Celice, ki so imele katodo poligonalne oblike, so tako kazale večji razelektritveni tok in boljšo črpalno hitrost. Z metodo AES sem raziskovala površino anode z namenom, da bi ugotovila, ali je na anodi nastala plast titanovih depozitov kot posledica črpanja celice. Rezultati AES analiz so pokazali, da je na anodi nastala plast titanovega nitrida. Debelina nastale plasti se je ujemala s teoretično oceno, ki sem jo dobila z meritvijo izmerjenega ionskega toka. To dokazuje, da je med ionskim tokom in črpalno hitrostjo neposredna povezava. Poleg tega so AES-analize pokazale, da v magnetronski celici poteka razprševanje po njeni celotni površini, zato je le-ta dokaj čista, kar ugodno vpliva na črpanje vodika, saj lahko vodik zelo hitro difundira v njeno notranjost. Črpalka, sestavljena iz takih celic, bi zatorej imela boljše črpalne lastnosti od navadnih Penningovih celic. Raziskave karakteristik magnetronskih celic so tako potrdile hipotezo o možnosti njihove uporabe v ionsko-razprševalnih črpalkah. Kot so pokazali rezultati za eno celico, velja tudi za več celic, da je optimalna delovna napetost črpalke odvisna od izbire magnetnega polja. Napetost bi morala biti pravilno izbrana, saj bi drugače bila razelektritev prešibka. Optimalna dolžina celic je 20 mm, celice pa bi morale vsebovati katodo npr. zvezdaste oblike.Type of material - dissertation ; adult, seriousPublication and manufacture - Maribor : [A. Vesel], 2003Language - slovenianCOBISS.SI-ID - 126941184
Author
Vesel, Alenka
Other authors
Zalar, Anton
Topics
razelektritve |
ionsko-razprševalne črpalke |
ultravisoki vakuum |
črpanje plinov |
magnetronske celice
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
Library | Call number – location, accession no. ... | Copy status |
---|---|---|
Library of Technical Faculties, Maribor | pisarna A-003 (FERI) DD VESEL A. RAZISKAVE | available - reading room |
University of Maribor Library | Skladišče II 57547 | available - reading room |
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
![loading ... loading ...](themes/default/img/ajax-loading.gif)
Shelf entry
Permalink
- URL:
Impact factor
Access to the JCR database is permitted only to users from Slovenia. Your current IP address is not on the list of IP addresses with access permission, and authentication with the relevant AAI accout is required.
Year | Impact factor | Edition | Category | Classification | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP |
Select the library membership card:
If the library membership card is not in the list,
add a new one.
DRS, in which the journal is indexed
Database name | Field | Year |
---|
Links to authors' personal bibliographies | Links to information on researchers in the SICRIS system |
---|---|
Vesel, Alenka | 20048 |
Zalar, Anton | 01741 |
Source: Personal bibliographies
and: SICRIS
Select pickup location:
Material pickup by post
Delivery address:
Address is missing from the member's data.
The address retrieval service is currently unavailable, please try again.
By clicking the "OK" button, you will confirm the pickup location selected above and complete the reservation process.
By clicking the "OK" button, you will confirm the above pickup location and delivery address, and complete the reservation process.
By clicking the "OK" button, you will confirm the address selected above and complete the reservation process.
Notification
Automatic login and reservation service currently not available. You can reserve the material on the Biblos portal or try again here later.
Subject headings in COBISS General List of Subject Headings
Select pickup location
The material from the parent unit is free. If the material is delivered to the pickup location from another unit, the library may charge you for this service.
Pickup location | Material status | Reservation |
---|
Reservation in progress
Please wait a moment.
Reservation was successful.
Reservation failed.
Reservation...
Membership card:
Pickup location: