UNI-MB - logo
UMNIK - logo
 
Narodna in univerzitetna knjižnica, Ljubljana (NUK)
Naročanje gradiva za izposojo na dom
Naročanje gradiva za izposojo v čitalnice
Naročanje kopij člankov
Urnik dostave gradiva z oznako DS v signaturi
  • Magnetronska ionsko-razprševalna črpalka = Magnetron sputter-ion pump
    Vesel, Alenka ; Mozetič, Miran, 1961-
    V prispevku prikazujemo konstrukcijo novega tipa ionske-razprševalne črpalke, ki je sestavljena iz kombinacije Penningovih in magnetronskih celic. Raziskovali smo odvisnost razelektritvenega toka v ... novi črpalki od delovne napetosti in tlaka. Rezultati so pokazali, da dobimo stalno razelektritev v območju med 1x10 [nad]-8 mbar in 1x10[nad] -6 mbar. Pri razmeroma nizki napetosti je odvisost toka od tlaka linearna, pri višji napetosti pa se karakteristika zlomi pri tlaku okoli 1x10[nad]-7 mbar.
    Vir: Vakuumist : glasilo Društva za vakuumsko tehniko Slovenije. - ISSN 0351-9716 (Letn. 23, št. 1, apr. 2003, str. 16-18)
    Vrsta gradiva - članek, sestavni del
    Leto - 2003
    Jezik - slovenski
    COBISS.SI-ID - 17494567

    Povezava(-e):

    Digitalna knjižnica Slovenije - dLib.si

Vnos na polico