UNI-MB - logo
UMNIK - logo
 
(UL)
  • Primerjava karakteristik ionizacijskih merilnikov s hladno katodo v ultra visokovakuumskem področju
    Erjavec, Bojan, 1950-2023 ; Šetina, Janez ; Irmančnik-Belič, Lidija
    Ionizacijski merilniki s hladno katodo so zaradi majhnega razplinjevanja (ionizacija plinskih molekul poteka med kroženjem toka elektronov, ujetih v prečnem električnem in magnetnem polju) in nizke ... spodnje meje (določajo jo izolacijski tokovi med katodo in anodo) primerni za meritve tlaka v ultra visokovakuumskem (UVV) področju. Njihova slabost sta nelinearnost in nezveznost razelektritvenega toka v odvisnosti od tlaka ter časovno zakasnjen vžig razelektritve v UVV. Modele merilnih glav s Penningovo, magnetronsko in invertno magnetronsko geometrijo smo skonstruirali na osnovi majhne ionsko-razprševalne črpalke, z nominalno črpalno hitrostjo 2 l/s, pri kateri je ohišje električno izolirano od priključne prirobnice in uporabljena visokonapetostna prevodnica z veliko električno prebojno trdnostjo. Ohišje obdaja oklopljen magnet iz Sa-Co. S tem so nam bile omogočene natančne meritve zelo majhnih razelektritvenih tokov. Meritve karakteristik smo izvajali na primerjalnem kalibracijskem UVV sistemu, opremljenim z ekstraktorskim merilnikom in viskoznostnim merilnikom z lebdečo kroglico ter plinskim razdelilnim sistemom za uvajanje različnih plinov preko preciznega dozirnega ventila. Jakost razelektritve, ki jo predstavlja razmerje med razelektritvenim tokom in tlakom, je odvisna od gostote magnetnega polja, dimenzij razelektritvene celice, delovne napetosti ter tlaka izbranega plina. V našem primeru smo obdržali konstantno gostoto magnetnega polja in dimenzije razelektritvene celice za vse tri geometrije. Jakost razelektritve smo merili najprej v odvisnosti od delovne napetosti pri različnih tlakih nato pa v odvisnosti od tlaka pri različnih delovnih napetostih. Za testni plin smo izbrali dušik in vodik. Meritvam karakteristik v primeru vodika smo posvetili posebno pozornost, ker je njegova ionizacijska zmogljivost (v odvisnosti od povprečne kinetične energije elektronov v cikloidi) dosti manjša. Izbira optimalne delovne napetosti je pomembna za UVV področje, saj v pregretih kovinskih UVV sistemih rezidualno atmosfero sestavlja pretežno vodik. V prispevku prikazujemo najznačilnejše primere neoptimalno izbrane delovne napetosti za vse tri geometrije, ki v primeru vodika vodi do zelo očitnih diskontinuitet pri karakteristiki razelektritveni tok v odvisnosti od tlaka.
    Vir: Zbornik povzetkov (Str. 21)
    Vrsta gradiva - prispevek na konferenci ; neleposlovje za odrasle
    Leto - 2001
    Jezik - slovenski
    COBISS.SI-ID - 285791

Vnos na polico