Institute of Metals and Technology, Ljubljana (IMTLJ)
Spoštovane uporabnike knjižnice IMT obveščamo, da je zaradi urejanja knjižnične zbirke moten prost dostop do gradiva,
zato vas vljudno prosimo, da nas glede knjižničnega gradiva predhodno kontaktirate na e-mail:
knjiznica@imt.si
Hvala za razumevanje!
Knjižnica IMT
13.
Kalibracija kvadrupolnega masnega spektrometra za meritve pretoka plinov s plinskimi sunki = Calibration of quadrupole mass spectrometer (QMS) for gas flow measurements by pressure impulses
Šetina, Janez ; Erjavec, Bojan
Kadrupolni masni spektrometri (QMS) so ionizacijski vakuumski merilniki, ki imajo dodan masni filter za določanje sestave plinske mešanice v vakuumskem sistemu. Kot pri vseh ionizacijskih merilnikih ...se tudi pri QMS koeficienti občutljivosti razlikujejo za različne pline, zato moramo za kvantitativne meritve instrument kalibrirati za posamezne pline. Običajno pri kalibraciji QMS določimo kalibracijske faktorje K[spodaj]p za izračun parcialnih tlakov iz izmerjenih ionskih tokov. V našem primeru pa smo potrebovali kalibracijske faktorje za pretok plina. Pri meritvah plinskih pretokov v vakuumskem sistemu je poleg kalibracijskega faktorja za posamezen plin pomembna tudi črpalna hitrost, s katero posamezen plin izčrpavamo iz posode. Za kalibracijo QMS na vakuumskem sistemu za merjenje permeacije plinov in razplinjevanje materialov smo raziskali metodo s plinskimi sunki. S to metodo lahko določimo kalibracijske faktorje KQ za neposreden izračun pretoka plina iz merjenega ionskega toka v QMS. V KQ sta zajeti koeficient občutljivosti spektrometra in efektivna črpalna hitrost. V prispevku bomo opisali metodo in podali rezultate kalibracije, ki smo jo izvršili za pline H2, He, N2, Ar in CO2.
It was not necessary to add the material to the shelf.
Bibliographic material was successfully added on shelf.
Adding bibliographical material on shelf was not successful.
Material is already on the shelf.
Permalink
URL:
Impact factor
Access to the JCR database is permitted only to users from Slovenia. Your current IP address is not on the list of IP addresses with access permission, and authentication with the relevant AAI accout is required.
Year
Impact factor
Edition
Category
Classification
JCR
SNIP
JCR
SNIP
JCR
SNIP
JCR
SNIP
Select the library membership card:
DRS,
in which the journal is indexed
Database name
Field
Year
Links to authors' personal bibliographies
Links to information on researchers in the SICRIS system
Subject headings in COBISS General List of Subject Headings
Select pickup location
The material from the parent unit is free. If the material is delivered to the pickup location from another unit, the library may charge you for this service.
zato vas vljudno prosimo, da nas glede knjižničnega gradiva predhodno kontaktirate na e-mail:
knjiznica@imt.si
Hvala za razumevanje!
Knjižnica IMT