Naprava za centrifugalno nanašanje tankih plasti : diplomska naloga visokošolskega strokovnega študijskega programa I. stopnje strojništvo
Piškur, Rok
V okviru diplomskega dela je bila zasnovana in izdelana prototipna naprava za centrifu- galno nanašanje tankih plasti, ki se lahko uporablja v fotolitografiji. Izdelana naprava sestoji iz vakuumske ...enote za pritrditev substrata, brezkrtačnega DC motorja s pripadajočim krmilnikom za vrtenje ter mikroprocesorskega krmilnega modula, ki omogoča nastavljanje hitrostnega profila med procesom nanašanja. Naprava omogoča nastavitev hitrostnega profila pri hitrostih vrtenja med 200 in 8000 vrt/min in trajanja do 341 s. Izvedena je bila kalibracija naprave ter demonstrirana njena praktična uporaba pri nanašanju pozitivnih fotorezistov. Izdelani tankoplastni vzorci in iz njih pridobljeni rezultati se lahko primerjajo s plastmi komercialnih naprav in so tudi primerni za naslednje postopke obdelave površine.
Vrsta gradiva - diplomsko delo
; neleposlovje za odrasle
Založništvo in izdelava - Ljubljana : [R. Piškur], 2015
Bibliografsko gradivo je bilo uspešno dodano na polico.
Dodajanje bibliografskega gradiva na polico ni uspelo.
Gradivo je že na polici.
Trajna povezava
URL:
Faktor vpliva
Dostop do baze podatkov JCR je dovoljen samo uporabnikom iz Slovenije. Vaš trenutni IP-naslov ni na seznamu dovoljenih za dostop, zato je potrebna avtentikacija z ustreznim računom AAI.
Leto
Faktor vpliva
Izdaja
Kategorija
Razvrstitev
JCR
SNIP
JCR
SNIP
JCR
SNIP
JCR
SNIP
Izberite knjižnično izkaznico:
Baze podatkov,
v katerih je revija indeksirana
Ime baze podatkov
Področje
Leto
Povezave do osebnih bibliografij avtorjev
Povezave do podatkov o raziskovalcih v sistemu SICRIS
Storitev za pridobivanje naslova trenutno ni dostopna, prosimo, poskusite še enkrat.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrano prevzemno mesto in dokončali postopek rezervacije.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrano prevzemno mesto in naslov za dostavo ter dokončali postopek rezervacije.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrani naslov za dostavo in dokončali postopek rezervacije.
Obvestilo
Trenutno je storitev za avtomatsko prijavo in rezervacijo nedostopna. Gradivo lahko rezervirate sami na portalu Biblos ali ponovno poskusite tukaj kasneje.
Citiranje
Funkcionalnost trenutno ni na voljo. Prosimo, poskusite kasneje.
