Narodna in univerzitetna knjižnica, Ljubljana (NUK)
-
A study of thermally formed reaction products in a Ni/Cr/Si multilayer structureZalar, Anton ...Priprava dobro karakteriziranih večplastnih struktur s kontrolo difuzijskih procesov in reakcij na faznih mejah je posebnega pomena za proizvodnjo vezij v mikroelektroniki. Silicidi so našli široko ... uporabo v mikroelektroniki zaradi primernih električnih karakteristik in ker skupaj z difuzijskimi barierami tvorijo termodinamično stabilne sisteme. V tem delu smo modelno večplastno strukturo Ni/Cr/Si, sestavljeno iz napršenih tankih plasti, debeline od 20 nm do 60 nm, ogrevali v diferencialno rastrskem kalorimetru (DSC). En vzorec večslojne strukture smo s hitrostjo 40°C/min ogrevali do 380°C in drugega do 550°C. Na svežih in termično izpostavljenih večplastnih strukturah smo s profilno analizo z metodo AES in presevno elektronsko mikroskopijo (TEM) ugotovili, da v termično obdelanih vzorcih močno reagirajo plasti niklja in silicija, medtem, ko je bila po pričakovanju reakcija med kromom in silicijem šibkejša. Identificirali smo dve vrsti silicidov, Ni[spodaj]2S in NiSi, kateri od njiju nastane pa je razen od časa reakcije in temperature odvisno tudi od razpoložljivega silicija in niklja.Vir: Informacije MIDEM : časopis za mikroelektroniko, elektronske sestavne dele in materiale = časopis za mikroelektroniku, elektronske sastavne dijelove i materijale = journal of microelectronics, electronic components and materials. - ISSN 0352-9045 (Letn. 23, št. 1, mar. 1993, str. 17-20)Vrsta gradiva - članek, sestavni delLeto - 1993Jezik - angleškiCOBISS.SI-ID - 17062149
Avtor
Zalar, Anton |
Pimentel, F. |
Hofmann, S. |
Panjan, Peter, 1957- |
Kohl, D. |
Praček, Borut
Teme
mikroelektronika |
polprevodniki |
večslojne strukture |
tanke plasti
Vnos na polico
Trajna povezava
- URL:
Faktor vpliva
Dostop do baze podatkov JCR je dovoljen samo uporabnikom iz Slovenije. Vaš trenutni IP-naslov ni na seznamu dovoljenih za dostop, zato je potrebna avtentikacija z ustreznim računom AAI.
Leto | Faktor vpliva | Izdaja | Kategorija | Razvrstitev | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP | JCR | SNIP |
Baze podatkov, v katerih je revija indeksirana
Ime baze podatkov | Področje | Leto |
---|
Povezave do osebnih bibliografij avtorjev | Povezave do podatkov o raziskovalcih v sistemu SICRIS |
---|---|
Zalar, Anton | 01741 |
Panjan, Peter, 1957- | 09090 |
Praček, Borut | 09105 |
Vir: Osebne bibliografije
in: SICRIS
Izberite prevzemno mesto:
Prevzem gradiva po pošti
Naslov za dostavo:
Med podatki člana manjka naslov.
Storitev za pridobivanje naslova trenutno ni dostopna, prosimo, poskusite še enkrat.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrano prevzemno mesto in dokončali postopek rezervacije.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrano prevzemno mesto in naslov za dostavo ter dokončali postopek rezervacije.
S klikom na gumb "V redu" boste potrdili zgoraj izbrani naslov za dostavo in dokončali postopek rezervacije.
Obvestilo
Trenutno je storitev za avtomatsko prijavo in rezervacijo nedostopna. Gradivo lahko rezervirate sami na portalu Biblos ali ponovno poskusite tukaj kasneje.
Gesla v Splošnem geslovniku COBISS
Izbira mesta prevzema
Gradivo iz matične enote je brezplačno. Če je gradivo na mesto prevzema dostavljeno iz drugih enot, lahko knjižnica to storitev zaračuna.
Mesto prevzema | Status gradiva | Rezervacija |
---|
Rezervacija v teku
Prosimo, počakajte trenutek.
Rezervacija je uspela.
Rezervacija ni uspela.
Rezervacija...
Članska izkaznica:
Mesto prevzema:
Naročanje gradiva za izposojo v čitalnice
Naročanje kopij člankov
Urnik dostave gradiva z oznako DS v signaturi